中企迎来转机荷兰光刻巨头ASML明确表态

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全球能独立生产光刻机的有四家企业，分别是荷兰ASML、日本的尼康和佳能、以及我国的上海微电子。然而在中高端光刻市场，ASML却几乎处于垄断地位，尤其是用于5nm制程以下高精尖芯片制造的EUV光刻机，ASML更是独一无二。

但可惜的是，由于产线上含有美技术设备以及产能不足这两方面原因，ASML始终无法向我国这个全球最大的半导体消费市场出口EUV，即便是我国企业与ASML签订了EUV采购协议并全额支付货款，可在老美的干预下，依然无法达成交易。

很显然，EUV光刻机被美国当作了遏制我国高新技术发展的一把“利刃”。但令人振奋的是，国内市场已经开启了对EUV等高端光刻设备的自研脚步，在中科院、清北高校等顶尖科研机构的不懈努力下，近两三年时间里不断传出着破冰核心技术的好消息，比如光源、光学物镜、双工件台系统等等。

随着高精度光刻设备国产化进程的快速推进，担心丢失市场话语权的ASML开始坐不住了，在这段时间里不断与美周旋，其首席官Peter甚至还公开向美发出警告：如果不卖给中国EUV光刻机，那么他们将在五年之内掌握该技术，一旦他们做到了自给自足，未来ASML或将有破产的风险。

可美国不仅没有听进ASML的“忠言”，反而在原有限制自由出货的基础上，又对EUV增设了新规：全面禁止该设备流入中国市场，即便是海外企业中国分厂也不让采购。老美驳货SK海力士中国分厂更换EUV光刻机就是最好的证明。在绝大多数业内人士来看，我们基本无望实现EUV的进口了。

可没想到转机来得这么快。近日，ASML方面明确表态，将会加速EUV光刻机的普及，且有信心在年实现该设备60%的使用占比。也就是说，到年，ASML生产的10台光刻机中，有6台都将是EUV光刻机。

要知道，EUV光刻机自年商用至今的五年时间里，ASML总计也就交付了台，而其最新的扩产计划是在年、年分别制造55台、60台，而且其后也会逐年稳定增长。

EUV光刻机普及的消息，对一直求而不得的中国市场而言，无疑是“柳暗花明又一村”，中企或将就此迎来转机。具体有三方面原因。

首先，虽然美国在EUV光刻机自由出货一事上始终不愿意松口，但ASML并没有就此妥协，反而是多次明确表态不会放弃中国市场。而且，ASML也相应的加大在国内市场的布局，不仅修建了一座维修中心，而且还扩大了研发中心的规模，甚至是向中企降价兜售DUV光刻机。足以看出ASML的诚意。

其次，ASML最新一代的EUV设备已经研发完成，将于年在荷兰总部完成安装调试，预计在年交付给英特尔。按照美出口规则，它所限制的是最先进、最顶尖的设备，比如现在EUV不能自由出货，但ASML公司的DUV等其他产品却不受限制。

而随着新一代EUV光刻机的落地商用，那么目前的EUV光刻机在未来就将有机会实现自由出货，何况ASML方面已明确表态要普及该设备。对于一项不是最先进的又不是特别稀有的设备，如果老美再死盯着不放，那显然就有些说不过去了，而且也没有什么实质性的意义。

最后，国产高端光刻机的研发仍在紧张进行中。ASML方面之所以会传出对EUV光刻机的扩产计划，不仅是为了满足与日俱增的全球市场需求，更是在与我国光刻市场“赛跑”，力争赶在国产高精度光刻机落地之前实现自由出货。

原因很简单，一旦我们率先实现了EUV设备的国产化，ASML不仅会失去庞大的中国光刻消费市场，而且国产光刻机还会成为其最大的竞争对手。“将最大的客户变成最大的竞争对手”，谷歌在软件系统方面断供华为的愚蠢行为可谓是前车之鉴，ASML显然不愿意重蹈覆辙。

也正是由于以上原因，才会说中企或将迎来转机。但倪光南院士早有忠告：核心技术是买不来、换不来、求不来的。不管最终EUV能否实现自由出货，我们都必须坚定自主研发的理念，只有做到了手中有粮，才能在面对断供危机时心中不慌。

倪光南院士作为联想第一任技术总工，一直都坚持着国产芯片、系统的自主化发展路线。正如司马南所说，如果不是柳传志利用手中的权利挤走了倪光南，国产半导体也不至于错过快速发展的黄金二十年，或许现在我们也不会被西方卡脖子。

没有人会比倪光南院士更明白掌握核心自研技术的重要性，所以我们必须要放弃“买办解决一切”这种不切实际的幻想，何况现在的中国在人才、资金、体系等各方面几乎都没有短板，我们完全可以凭自己的硬实力来打破EUV的封锁，从根本上实现国产芯片的崛起。

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